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3D共聚焦顯微鏡基本介紹
3D共聚焦顯微鏡
基本介紹
3D共聚焦顯微鏡是一種用于環(huán)境科學(xué)技術(shù)及資源科學(xué)技術(shù)領(lǐng)域的分析儀器
技術(shù)指標(biāo)
光學(xué)和數(shù)碼變焦1-8X,移動分辨率10 nm、顯示分辨率1 nm,物鏡100x、50x、20x、10x、5x。
主要功能
3D共聚焦顯微鏡可用來測量表面物理形貌,進(jìn)行微納米尺度的三維形貌分析。
3D共聚焦顯微鏡是一種用于機(jī)械工程領(lǐng)域的計(jì)量儀器
位移范圍:100mm×100mm×100mm;樣品表面結(jié)構(gòu):Ra>9nm,Lc=2μm;*大樣品高度:100~345mm;*大樣品重量:30kg;*佳水平分辨率:0.44μm;*佳垂直分辨率:10nm;*大掃描高度:22.5mm;*大擴(kuò)展視野范圍:10000mm2;*大單一方向掃描范圍:100mm;*小測量高度:0.01μm;*大測量高度:22.5mm;*大測量范圍:10000mm2;*大測量形貌長度:100mm;*小可重復(fù)性:0.001μm;*小測量粗糙度(Ra):0.03μm;*小測量粗糙度(Sa):0.015μm;*小測量半徑:1μm;*小測量垂直角度:20°。
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